杭州中（zhōng）欣（xīn）晶圓半導體股份有限公司

 

　　杭州中欣晶圓半導體股份有（yǒu）限公司成立於2017年，坐（zuò）落在杭州市錢塘區大江東產業集聚區，主要（yào）從事高（gāo）品質集成電路（lù）用半導體晶圓片（piàn）的研（yán）發與生產製造。實現了從半導體單晶矽棒拉製到100mm~300mm半導體晶（jīng）圓片加工的完整生（shēng）產。擁有9條8英寸生產（chǎn）線、2條技術成熟的12英寸生產線，具備年產能240萬片/300mm、480萬片/200mm、480萬片/150mm。

 

　　

 

　　半導體生（shēng）產車間對空氣潔淨技術提出了高要求，以確保產品生產良率（lǜ）達到99.99%。

 

　　解決方案

　　Solutions

 

　　華淨科技氣態汙（wū）染物AMC空氣過濾解（jiě）決方案

 

　　麵（miàn）對中欣晶（jīng）圓（yuán）對空氣潔淨度的要求，華淨科技通過采樣、現（xiàn）場（chǎng）勘測、技術診斷，確認氣態汙染物主（zhǔ）要成分及濃度（dù），有針對性的提出了（le）最優的解決方案 - 氣態汙染物AMC空氣（qì）過濾（lǜ）解決方案。在保證能耗（hào）降低的同時（shí），達到了（le）最（zuì）佳過濾效率。

 

　　其中選（xuǎn）用了除酸化學過濾器、除堿化（huà）學過濾（lǜ）器等平（píng）板型（xíng）氣相過（guò）濾器。

 

　　並在發貨前對過濾器（qì）進行了性能檢測。

 

　　

 

　　FFU氣相（xiàng）過濾器現場安裝示意圖

 

　　平板型氣相過濾器是一種高效（xiào）去除（chú）空氣（qì）中顆粒和氣態分子汙染物的複合式過濾器（qì），廣泛應用在AMC汙染（rǎn）腐蝕控製工（gōng）程中，主要（yào）搭（dā）配風（fēng）機過濾機組（FFU）使用，也可作為送（sòng）風口或回風口的化學過濾組件，複合式的結構設計使濾材（cái）充分發揮過濾功能，根據現（xiàn）場環境的AMC種類（lèi）和濃度，定製化設計過濾材料和框（kuàng）架材料，讓空氣（qì）更潔淨。

 

　　

 

　　平板（bǎn）型氣相過濾器

 

　　產品優（yōu）勢：

 

　　① 使用方便（biàn），安裝維護簡單；

 

　　② 高效過率，針對不同汙染物定製配方；

 

　　③ 低阻力，無遞增（zēng）壓損，節能環保；

 

　　④ 無灰塵釋放（fàng），具有一定的粉塵過濾效果；

 

　　⑤ 使用壽命長，通（tōng）過化學吸附法去除氣（qì）態汙染物，氣態汙（wū）染物與濾料發生化學反應，有效杜絕空氣（qì）環境（jìng）的二次汙染，永久去除氣態汙染物（wù）。

 

　　華淨科技化學過濾器檢測平台專門針對化學過濾器過濾性能的檢測，通過模擬受控汙染環境內過濾（lǜ）器過濾裝置，檢測過濾器（qì）在不同汙染物濃度環境下（xià）過濾效率、壓（yā）阻、容汙量、持久性等性能的變化，幫助企業設計開發出高效（xiào）改（gǎi）善環境空氣質量的過濾產（chǎn）品。符（fú）合標準：ISO10121-2、T/CRAA438.2

 

　　

 

　　華淨科技氣相過（guò）濾器全尺寸檢測台

 

　　

 

　　經檢測（cè）合（hé）格的氣相過濾器