電子麵板、半導體行業氣態汙染物AMC解決方案

發布日期：2021-07-23 14:54:23

信息摘要：

對（duì）於半導體製造行業，在製造過程中（zhōng），高端電氣（qì）部件非常容易受到汙染。即使是非常少的汙染也會導致在接觸周邊空氣時產生（shēng）腐蝕和氧化。實際上，計算機部件受到的威脅比人（rén）類（lèi）更大，...

隨著半導體製程技術的飛速發展（zhǎn），芯片線寬已經進入（rù）納米級，相應的產品對半導體（tǐ）產品生產（chǎn）環境的要求越來越高，因此（cǐ）半導體潔淨室內AMC的控製標準也提高了很多。
1、潔淨室新風（fēng）控製：在MAU內加裝化學過濾器，控（kòng）製室外（wài）新風中的化學汙染物；
2、潔（jié）淨室循環風控製：在FFU上方加裝化學過濾（lǜ）器，控製整（zhěng）個潔淨室內部的氣態化學（xué）汙染物（wù）；
3、潔淨室機台控（kòng）製：在生產機台上方加裝化學過濾器，機台內（nèi）部空（kōng）間超潔淨度的氣態（tài）汙（wū）染物控（kòng）製。

編號	應用場地	可選裝置	功能
①	新風入口處	側開式淨化機（jī）組	去除外部（bù）環境進（jìn）入潔（jié）淨室的AMC
②	空調機組（zǔ）內	HJ氣相過濾器	去除外部環境和（hé）回風進入潔淨室的AMC
③	FFU處	HJ氣相過濾器	去除送風過程進入潔淨室的（de）AMC
④	潔淨室內	內循環淨化裝置	去除潔淨室內（nèi）產生的AMC
⑤	回風段	HJ氣相過濾器/側開（kāi）式淨化（huà）機（jī）組	去除潔淨室回風段含有的AMC